合肥露笑半導(dǎo)體材料有限公司近日宣布，在第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域取得重大技術(shù)突破。該公司成功制備出12英寸碳化硅單晶樣品，并完成從晶體生長(zhǎng)到襯底加工的全流程工藝驗(yàn)證，標(biāo)志著其"導(dǎo)電型+半絕緣型"雙路線產(chǎn)品體系正式構(gòu)建完成。

在功率電子應(yīng)用領(lǐng)域，研發(fā)團(tuán)隊(duì)通過優(yōu)化晶體生長(zhǎng)參數(shù)耦合模型，實(shí)現(xiàn)了大尺寸晶體的低缺陷密度控制，襯底電阻率均勻性達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。這項(xiàng)突破為新能源汽車主驅(qū)逆變器、光伏逆變器等高端功率器件提供了關(guān)鍵材料支撐。在光電子應(yīng)用方向，團(tuán)隊(duì)攻克了半絕緣型碳化硅的高阻純度控制難題，產(chǎn)品表面粗糙度控制在納米級(jí)，完全滿足AR眼鏡光波導(dǎo)和5G射頻器件的嚴(yán)苛加工要求。

面對(duì)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向大尺寸發(fā)展的趨勢(shì)，合肥露笑已啟動(dòng)產(chǎn)能擴(kuò)張計(jì)劃。在現(xiàn)有合肥基地一期項(xiàng)目基礎(chǔ)上，公司將重點(diǎn)推進(jìn)8英寸導(dǎo)電型襯底的規(guī)模化量產(chǎn)，同時(shí)布局12英寸半絕緣型襯底的研發(fā)中試線。相關(guān)產(chǎn)品線將覆蓋新能源汽車電控系統(tǒng)、智能電網(wǎng)、消費(fèi)電子等戰(zhàn)略新興領(lǐng)域，有效緩解國(guó)內(nèi)高端碳化硅襯底依賴進(jìn)口的局面。

公司技術(shù)負(fù)責(zé)人透露，通過持續(xù)三年的技術(shù)攻關(guān)，團(tuán)隊(duì)在晶體生長(zhǎng)熱場(chǎng)設(shè)計(jì)、缺陷控制等核心環(huán)節(jié)形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系，部分指標(biāo)已超越國(guó)際同類產(chǎn)品。隨著新產(chǎn)線的逐步投產(chǎn)，預(yù)計(jì)上半年?duì)I業(yè)收入將實(shí)現(xiàn)跨越式增長(zhǎng)。未來將持續(xù)深化與上下游企業(yè)的協(xié)同創(chuàng)新，推動(dòng)碳化硅材料在更多領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程。